箱体

尺寸2400*770*900㎜、SUS304不锈钢

前窗

透明钢化安全玻璃、防静电聚碳酸酯玻璃

照明

 LED灯带

置物架

SUS304不锈钢材质

手套

美国诺斯、美国皮尔康、美国GUARDIAN

手套口

阳极氧化硬铝合金材质

支架

高950㎜、安装脚轮、可调节高度不锈钢地脚

大过渡舱

尺寸390*600㎜、SUS304不锈钢材质、SUS304移动托盘、自动抽补

小过渡舱

尺寸150*300㎜、SUS304不锈钢材质、SUS304移动托盘、手动抽补

压力表

德国WIKA

控制系统

西门子PLC

显示系统

西门子、MCGS

循环风机

西门子、台湾达钢

净化材料

德国BASF铜触媒、美国UOP分子筛

有机溶剂吸附柱

优质真空烘烤活性炭

氧分析仪

美国GE、美国AII

水分析仪

美国GE、英国米歇尔

真空泵

英国爱德华、德国莱宝

压力传感器

德国哈斯瓦谢

油雾过滤器

英国爱德华

泄漏率

＜0.001vol%h

水含量

＜1ppm

氧含量

＜1ppm

过滤器

孔径0.3微米、进出口各一个，符合HEPA标准